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Inpressible CFD + Passive Scalar
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SiH₄/NH₃ 유량비는 PECVD SiN 박막의 증착률과 균일도에 영향을 주는 주요 공정 인자 중 하나로, 관련 문헌에서도 유량비 변화에 따른 균일도 변화가 보고된 바 있다. 본 프로젝트에서는 다른 변수를 고정하고 유량비만을 변수로 설정해 챔버 내 가스 분포 경향을 CFD로 분석함
